Shimadzu EPMA-1600電子探針X射線顯微分析儀+能譜儀

Shimadzu EPMA-1600 Electron Probe Microanalyzer

儀器名稱：電子探針X射線顯微分析儀+能譜儀         

型       號：EPMA-1600+

生產廠家：日本島津公司

儀器簡介：日本島津公司的EPMA－1600型電子探針，由四道譜儀、八塊分光晶體組成。此儀器不僅有較高的X射線檢出角，同時由于使用全聚焦的X射線分光晶體，能兼顧X射線檢測的高靈敏度和高分辨率，并配有高穩定的電子光學系統，真空系統及高精度機械系統以及牛津X-射線電制冷能譜儀，是目前最先進的微區成分定量分析和形貌觀察的大型科研儀器之一。

上面配有牛津OXFORD-INCA能譜儀

儀器主要特點及技術指標：

l  分析元素范圍： 4Be～94Pu       電子束流穩定性：好于1.5×10^-3/H

l  二次電子像分辨率：6nm         加速電壓：0~30kV            X射線檢出角：52.5°  

l  放大倍數：50×～300,000×        分析速度：自動全元素定性分析時間≤60s      

l  最大樣品尺寸：100mm′100mm′50mm       樣品臺最小移動間距為0.01微米，機械系統精密度高

l  可觀察二次電子像（SEI)，背散射電子像(BEI)，吸收電子像，光學顯微像，X射線面分布像等。兼顧微區成分定量分析和形貌觀察

儀器主要功能及其用途：

l  非破壞分析（分析時，被分析樣品不會損壞，可以實現同點重復分析）、精細結構分析、能譜分析

l  微米尺度的空間分辨分析、輕元素的定量分析、元素的面分布分析、痕量元素的成分定量分析

l  適用于材料(陶瓷，合金，半導體材料等）以及礦物、巖石等固體材料的微區化學組成定性和定量分析，微區化學組成線分析，微區化學組成面分析以及材料、礦物和巖石等的微區形貌觀察、成分分布圖像等，是對試樣微區組織結構，表面形貌觀察及元素微區定量分析的最有效手段。